半導(dǎo)體及液晶面板工廠在生產(chǎn)過程中排放出大量的工藝廢氣， 包括一般廢氣、酸性廢氣、堿性廢氣、有毒廢氣和有機(jī)廢氣等。主要污染物組分有粉塵、氨、氯化氫、NOx、氫氟酸、氟化物、硝酸、氯氣等。超惠采用臥式洗滌塔、立式洗滌塔、玻璃鋼風(fēng)機(jī)等成套設(shè)備，輔以高效吸收填料，保證處理后的廢氣滿足國家和行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)。具有吸收效率高、運(yùn)行成本低、占地面積小、全自動(dòng)控制等優(yōu)點(diǎn)，在行業(yè)內(nèi)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用。